表面阻抗測(cè)試儀就是用來測(cè)試系統(tǒng)阻抗特性的儀器，通過阻抗測(cè)試儀可以分析系統(tǒng)的L、C、R分量。例如一個(gè)普通電阻不僅具有電阻分量，其還具有電感或者電容分量，通過阻抗測(cè)試儀可以對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。由于組抗測(cè)試儀設(shè)計(jì)使用方便，以來被廣泛適用于微電子，醫(yī)藥，航空航天，精密機(jī)械等領(lǐng)域，用于量化測(cè)量所有導(dǎo)電型、抗靜電及靜電泄放材料的表面電阻或系統(tǒng)電阻，使用簡(jiǎn)單，攜帶方便。

　　表面阻抗測(cè)試儀設(shè)計(jì)對(duì)于電路和裝置的模值、精度等都有影響，而且在裝置運(yùn)行中，阻抗參數(shù)的變化對(duì)裝置的結(jié)構(gòu)、運(yùn)行狀態(tài)、溫度變化、故障原因等有重要的參考價(jià)值和研究意義。該技術(shù)是一種非接觸式面阻測(cè)試技術(shù)且測(cè)試穩(wěn)定，對(duì)于無損檢測(cè)、在線監(jiān)測(cè)具有重要意義。

　　測(cè)試原理：

　　當(dāng)四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí)，在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V，根據(jù)公式可計(jì)算出材料的電阻率。其中，C為四探針的探針系數(shù)(cm)，它的大小取決于四根探針的排列方法和針距。